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Chinese
2020年3月18-20日
上海新国际博览中心

化合物半导体专区

 

化合物半导体专区 

以GaAs、GaN、SiC 等为代表的化合物半导体材料因其独特的材料特性,被用于光电、射频、电力电子等半导体器件制造,在5G通信、显示、新能源、电气化交通等新兴领域发挥着越来越重要的作用,中国是全球最大的化合物半导体制造基地及应用市场, 化合物半导体是中国半导体行业的未来重要发展方向之一。
本专区集中展示化合物半导体制程关键技术,包含蓝宝石、SiC、GaN 、MO源等核心材料,MOCVD、PECVD、刻蚀、离子注入及退火等关键装备。

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项目负责人  
戚发鑫  
Tel:86.21.6027.8576  
Email:[email protected]  









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